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掃描電鏡電源不穩(wěn)時(shí)對成像會(huì)有什么影響?

日期:2025-04-27

掃描電鏡(SEM)使用時(shí)如果電源不穩(wěn)定,會(huì)對成像產(chǎn)生一系列直接且顯著的負(fù)面影響,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

1. 圖像漂移和抖動(dòng)

電源電壓波動(dòng),會(huì)導(dǎo)致電子束的位置發(fā)生微小但連續(xù)的變化,表現(xiàn)為:

圖像整體出現(xiàn)緩慢漂移。

圖像細(xì)節(jié)出現(xiàn)晃動(dòng)、抖動(dòng)現(xiàn)象,尤其在高放大倍率下更明顯。

難以進(jìn)行長時(shí)間曝光和高分辨率成像。

2. 失焦和分辨率下降

電源不穩(wěn)使電子槍發(fā)射條件變化(比如發(fā)射電流或加速電壓波動(dòng)),造成:

焦點(diǎn)偏移,導(dǎo)致圖像模糊、分辨率明顯降低。

特別是掃描速度慢時(shí),圖像模糊感加重,細(xì)節(jié)變差。

3. 亮度和對比度不穩(wěn)定

加速電壓或探測器供電波動(dòng),會(huì)引起:

圖像亮度忽明忽暗。

對比度變化,局部區(qū)域發(fā)白或發(fā)黑,影響觀察質(zhì)量。

難以得到統(tǒng)一穩(wěn)定的圖像輸出。

4. 出現(xiàn)條紋、噪點(diǎn)和偽影

電源噪聲(特別是交流紋波)疊加在電子束或信號(hào)鏈上,造成:

圖像上出現(xiàn)周期性條紋或噪點(diǎn)。

形成鬼影、重復(fù)影像等偽影。

在低電壓、大視場拍攝時(shí)更容易暴露這些問題。

5. 設(shè)備保護(hù)機(jī)制觸發(fā)

如果電源波動(dòng)過大或瞬間掉電,SEM本身的保護(hù)機(jī)制可能動(dòng)作,導(dǎo)致:

電子槍自動(dòng)關(guān)斷以保護(hù)發(fā)射源(特別是場發(fā)射槍FEG系統(tǒng))。

樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)中斷或系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)。

部分老舊機(jī)型甚至可能燒毀電源模塊或高壓部分。


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作者:澤攸科技