掃描電鏡（SEM）圖像邊緣模糊的確可能與調(diào)焦不當(dāng)有關(guān)，但這只是眾多可能原因之一。下面是一些常見(jiàn)導(dǎo)致圖像邊緣模糊的原因和對(duì)應(yīng)解決方法：

1. 調(diào)焦未精準(zhǔn)對(duì)齊整個(gè)視野

原因：SEM 的焦點(diǎn)通常只對(duì)準(zhǔn)了中心區(qū)域，邊緣離焦；

應(yīng)對(duì)：

手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)焦后，移動(dòng)樣品位置對(duì)不同區(qū)域重新微調(diào)焦距；

使用“Z 軸調(diào)節(jié)”或“工作距離”微調(diào)，確保整個(gè)圖像平面都在焦點(diǎn)上。

2. 樣品表面不平或傾斜

原因：樣品傾斜，導(dǎo)致邊緣區(qū)域與電子束焦點(diǎn)不在同一平面；

應(yīng)對(duì)：

使用傾斜臺(tái)調(diào)整樣品角度；

或更換為表面更平整的樣品。

3. 工作距離設(shè)置不當(dāng)

原因：不同工作距離對(duì)應(yīng)不同的景深，如果設(shè)置不合適，邊緣會(huì)模糊；

應(yīng)對(duì)：

縮短工作距離以提高分辨率；

或根據(jù)樣品形狀調(diào)整最適景深。

4. 放大倍率過(guò)高但聚焦未同步優(yōu)化

原因：高倍率時(shí)圖像更敏感，輕微離焦也會(huì)導(dǎo)致模糊；

應(yīng)對(duì)：

增加放大倍率時(shí)，重新調(diào)焦；

注意使用適當(dāng)?shù)膾呙杷俣缺苊庠肼暩蓴_焦點(diǎn)。

5. 電子束發(fā)散或透鏡不穩(wěn)定

原因：鏡頭系統(tǒng)未充分穩(wěn)定或電磁干擾；

應(yīng)對(duì)：

確保電子束穩(wěn)定運(yùn)行；

盡量減少外部電磁干擾源，如移動(dòng)手機(jī)、電風(fēng)扇、電焊機(jī)等。

 6. 樣品表面帶電

原因：非導(dǎo)電樣品未進(jìn)行金屬鍍膜，邊緣區(qū)域電荷積累；

應(yīng)對(duì)：

對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)電鍍膜（如金、鉑、碳）；

或在低真空模式下觀察以減少充電效應(yīng)。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像邊緣模糊是因?yàn)檎{(diào)焦沒(méi)調(diào)好嗎。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢