掃描電鏡（SEM）圖像突然變黑，意味著探測器沒有接收到足夠的信號(hào)或信號(hào)完全喪失。這種現(xiàn)象通常是突發(fā)性的，可能由以下幾類原因引起：

常見原因及應(yīng)對方法：

1. 電子束突然中斷

可能原因：電子槍斷束、電源或燈絲老化、燈絲燒斷等。

應(yīng)對：

檢查是否有“Gun OFF”或“Emission OFF”提示。

查看燈絲狀態(tài)，必要時(shí)聯(lián)系技術(shù)人員更換燈絲。

檢查高壓電源是否正常啟動(dòng)。

2. 樣品位置移出探測范圍

可能原因：樣品快速移動(dòng)、Z軸調(diào)節(jié)過高、聚焦/拉近時(shí)超出工作距離，導(dǎo)致信號(hào)丟失。

應(yīng)對：

重置樣品工作距離（WD），一般回到10–15 mm。

將樣品臺(tái)移動(dòng)回默認(rèn)安全位置或“home”位置。

降低倍率查看是否還能找到樣品輪廓。

3. 探測器故障或關(guān)閉

可能原因：二次電子探測器（SE）、背散射電子探測器（BSE）未接通或失效。

應(yīng)對：

檢查探測器是否已打開，電壓是否正常。

切換其他探測器查看圖像是否恢復(fù)。

檢查相關(guān)信號(hào)線和接頭是否松動(dòng)或老化。

4. 樣品充電嚴(yán)重

可能原因：非導(dǎo)電樣品在高電壓下嚴(yán)重充電，電子束被散射或排斥，探測器收不到信號(hào)。

應(yīng)對：

降低加速電壓至 5–10 kV。

改用低真空模式或做導(dǎo)電鍍膜（如碳或金膜）。

減小掃描范圍，短時(shí)觀察。

5. 真空系統(tǒng)異常

可能原因：真空未達(dá)到設(shè)定值，導(dǎo)致系統(tǒng)保護(hù)性關(guān)閉高壓。

應(yīng)對：

檢查真空計(jì)讀數(shù)。

確認(rèn)是否有“Vacuum error”提示。

等待系統(tǒng)抽氣完成，或檢查是否有漏氣。

6. 束流過強(qiáng)導(dǎo)致探測器保護(hù)

可能原因：束流過大使探測器保護(hù)電路觸發(fā)，自動(dòng)關(guān)閉信號(hào)。

應(yīng)對：

降低“Probe current”或“Spot size”。

減小曝光時(shí)間，避免定點(diǎn)轟擊。

7. 圖像參數(shù)設(shè)定不當(dāng)

可能原因：亮度（Brightness）和對比度（Contrast）設(shè)置異常。

應(yīng)對：

恢復(fù)默認(rèn)圖像設(shè)置。

手動(dòng)調(diào)節(jié)亮度/對比度直到圖像可見。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像為什么突然變黑。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢