在掃描電鏡（SEM）成像過程中，漂移會導(dǎo)致圖像模糊、細節(jié)丟失，特別是在高倍率和長曝光時間下尤為明顯。減少漂移的方法主要包括樣品制備、設(shè)備穩(wěn)定性優(yōu)化、環(huán)境控制、成像參數(shù)調(diào)整等。

1. 樣品制備優(yōu)化

(1) 確保樣品固定穩(wěn)固

使用導(dǎo)電膠（Carbon Tape）或銀膠（Silver Paint），避免樣品在電子束作用下發(fā)生微小移動。 

避免懸空或翹曲：使用適當(dāng)大小的樣品臺，使樣品充分貼合。 

降低熱應(yīng)力：避免冷熱交替，以防因材料熱膨脹引起漂移。 

(2) 提高樣品導(dǎo)電性

充電效應(yīng)可能導(dǎo)致電子束引起樣品漂移，解決方案包括： 噴涂金（Au）、鉑（Pt）、碳（C）等導(dǎo)電涂層。 

確保樣品良好接地，減少靜電積累。 

2. 設(shè)備優(yōu)化

(1) 預(yù)熱電子槍

長時間預(yù)熱（至少 30–60 分鐘），確保電子束穩(wěn)定，減少電源漂移。 

使用熱場發(fā)射槍（FEG），因其漂移比鎢燈絲更小。 

(2) 預(yù)先曝光樣品

在正式成像前，用較低倍率掃描一段時間，穩(wěn)定樣品電子環(huán)境，減少因電子束充電導(dǎo)致的漂移。 

(3) 選用合適的樣品臺

采用高穩(wěn)定性低熱膨脹材料（如 Invar 合金、石英）制作的樣品臺。 

選擇高精度電動臺，降低機械漂移。 

3. 環(huán)境控制

(1) 控制溫度和濕度

恒溫環(huán)境（±0.5°C 以內(nèi)），避免因溫差導(dǎo)致樣品熱膨脹或收縮。 

控制濕度（30–50% RH），減少靜電積累，避免漂移。 

(2) 避免振動干擾

安裝防震臺（Anti-vibration table），減少機械振動。 

避免 SEM 靠近強震源（如電梯、空調(diào)、真空泵）。 

降低外部氣流影響，確保實驗室門窗緊閉，減少空氣擾動。 

4. 成像參數(shù)優(yōu)化

(1) 降低電子束劑量

降低電子束電流（Beam Current），減少電子轟擊導(dǎo)致的樣品漂移。 

使用較低加速電壓（1–5 kV），降低電子穿透深度，減少樣品內(nèi)部充電。 

(2) 選擇合適的掃描模式

慢掃描模式（Frame Integration）能提高信噪比，但可能導(dǎo)致漂移累積 → 適用于穩(wěn)定樣品。 

快速掃描模式（Line Average）能減少漂移影響，但信號較弱 → 適用于漂移嚴(yán)重的樣品。 

(3) 使用漂移校正功能

動態(tài)對準(zhǔn)（Dynamic Focus）：可在長時間掃描時進行自動焦距調(diào)整，減少焦點漂移。 

自動漂移補償（Drift Correction）：部分SEM 具有實時軟件校正功能，可減少漂移。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡成像時如何減少漂移的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢