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掃描電鏡圖像過(guò)暗或過(guò)亮的調(diào)整方法

日期:2024-11-29

掃描電鏡(SEM)圖像過(guò)暗或過(guò)亮通常與圖像的曝光、增益設(shè)置、探測(cè)器選擇以及樣品表面特性有關(guān)。以下是一些調(diào)整方法:

1. 調(diào)整電子束曝光時(shí)間

過(guò)暗:增加曝光時(shí)間,使電子束與樣品的相互作用時(shí)間更長(zhǎng),從而提高圖像亮度。

過(guò)亮:減少曝光時(shí)間,以避免過(guò)多的電子被樣品吸收,導(dǎo)致圖像過(guò)亮或飽和。

2. 調(diào)整增益/亮度/對(duì)比度設(shè)置

過(guò)暗:增大增益值(或亮度設(shè)置),以提高信號(hào)強(qiáng)度。

過(guò)亮:減少增益,降低信號(hào)強(qiáng)度,避免圖像過(guò)曝。

3. 調(diào)整探測(cè)器靈敏度

過(guò)暗:選擇更靈敏的探測(cè)器(如 secondary electron detector)或者提高探測(cè)器的增益設(shè)置。

過(guò)亮:調(diào)低探測(cè)器的增益,或者切換到不同類型的探測(cè)器,如 backscattered electron detector (BSE),它通??梢蕴峁└獾牧炼?。

4. 優(yōu)化樣品表面

過(guò)暗:樣品表面可能過(guò)于粗糙或不導(dǎo)電,導(dǎo)致電子散射過(guò)多。確保樣品表面涂覆一層導(dǎo)電材料(如金、鉑等),以提高信號(hào)的反射。

過(guò)亮:樣品表面可能太光滑或存在過(guò)度導(dǎo)電材料。嘗試調(diào)整樣品涂層厚度。

5. 調(diào)整工作距離(WD)

過(guò)暗:減小工作距離可以增加信號(hào)的強(qiáng)度。

過(guò)亮:增加工作距離,減少電子束的散射。

6. 調(diào)節(jié)加速電壓(HV)

過(guò)暗:提高加速電壓可以增加電子束的穿透力,從而提高圖像亮度,尤其是在觀察較深的樣品時(shí)。

過(guò)亮:降低加速電壓,減少電子束的穿透力。

7. 后處理圖像

在導(dǎo)出圖像之前,使用軟件(如 Igor Pro、ImageJ 等)進(jìn)行圖像增強(qiáng)、調(diào)整亮度、對(duì)比度和伽馬值等,以進(jìn)一步改善圖像質(zhì)量。

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作者:澤攸科技